一、特殊气体配比装置流程概述

特殊气体配比装置主要采用控制加入特殊气体的流量来达到特殊气体按一定比例混合的目的。一般情况下，是控制含量较少的气体的流量， 一台气体配比装置主要由特殊气体流量计、特殊气体分析仪、PID控制器、流量调节阀、压力表、混合罐、机箱等组成。

二、原理说明：

特殊气体分析仪测量得到混合罐内的特殊气体含量，特殊气体分析仪将所测得的含量转换成4～20mA信号，传送给PID控制器，PID控制器将此信号转换成机械信号向流量调节阀发出动作指令，指挥流量调节阀的开度大小，流量调节阀的开度大小决定了混合罐内的特殊气体含量，在不断调节中，从而达到特殊气体按一定比例混合的目的。

三、装置特点
1、特殊气体分析仪：选用高精度特殊气体分析仪，测量精确，可靠性高，反应迅速。此特殊气体分析仪带4～20mA信号输出。

 2、PID控制器：选用日本SHIMANDEN产PID控制器，控制精度高，能迅速将获得的信号与设定值对比，并快速发出指令，保证控制的准确度和精度。同时快速的反应能保证特殊气体含量的稳定。

 3、流量控制阀：选用高灵敏度调节阀，阀门动作幅度小，不会出现急开急关的情况，能很好控制氢气的供给量，从而保证特殊气体含量的稳定性。

4、设备整体箱式结构，方便安装，节省空间。

5、PID控制主要是基于含量设定值与含量实际值的差别来实现控制的。当实际值低于设定值时，PID指挥调节阀开大流量，当实际值高于设定值时，PID指挥调节关小流量，如此不断往复，达到平衡，即设定值与实际值的统一。

四、工艺流程图：